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Etamax光致發(fā)光測試儀
功能簡介:通過激光激發(fā)外延片發(fā)光,使用光譜儀和光電探測器收光,計算光致發(fā)光的峰值波長、主波長、半波寬、峰值強度、積分強度和光電探測總強度;同時,使用白光干涉原理,計算膜厚和反射率。

規(guī)格型號:
PLATO;
PLATOM;

功能特色:

1.   全自動機臺,全方位展示晶圓的PL和厚度mapping;LED行業(yè)的全自動機型市占率遙遙領先;

軟件設計完全來自于十幾年積累的韓國知名量產廠的EPI生長經驗,技術成熟,功能強大;

2.   首創(chuàng)PL+膜厚+反射率同時量測,獨有的PL+反射率+膜厚+PD的同時量測,共8項參數(shù)及即時的mapping,用戶可在不增加量測時間的前提下得到更多可靠的參考數(shù)據(jù)全面分析Epi-wafer的狀況;

3.   高精度的光電探測器PD,獨有的專業(yè)設計;測試光強時非常準確,無論是單片重復測試還是在多機臺測試;

4.   獨有的Z-Stage Adjustment功能,可根據(jù)需求調整量測臺的高度,提供激發(fā)光強最佳量測光學平面;

5.   兼容2inch4inch以及6inch或者8inchEpi-wafer測試,無需升級;3cassette,最多可一次性測試75片;

6.   根據(jù)客戶需求,可安裝三組不同的激光器,375nm(默認)/405nm/532nm;

7.   自定義測試步進,最低0.5mm每步進,可以去除任意范圍的邊緣進行分析;  可以輸出excel、csv、txt格式的數(shù)據(jù),并且輸出的格式可由用戶進行編輯;                                       

8.    一臺全自動PL能滿足10臺以上MOCVD需求;                                               

9.   具備手動上下片的功能,可以簡單進行不規(guī)則片的測試,以及在機械手出現(xiàn)緊急情況時候,切換成手動模式使用;

10.   強大的分析軟件PL Viewer,并提供終身的免費升級,可以在任意PC機上獨立安裝并進行數(shù)據(jù)的分析;

11.  獨有的同時拉線分析3wafermapping圖功能,客戶可以同時比較任意三個mapping圖的同一方向的參數(shù)分布情況;獨有的在mapping中拉線疊圖功能,經過的每個點均顯示波形圖,更直觀和真實的反應每個點的波形并形成疊圖的直觀比較模式;RUN mapping數(shù)據(jù)load 入分析軟件,可以快速方便分析各點數(shù)據(jù)和整片情況;

12.  強大的Susceptor designer 功能,可以滿足目前所有的MOCVD的類型;

13.  成熟的Bowing量測功能,獨有的量測原理,遠比對手研發(fā)中的原理精確,并已在各量產廠成熟應用; 

14.  可為分析判別PSS的表面質量提供數(shù)據(jù)參考;

15.  成熟的Laser mark應用,可在不影響設備產能前提下為Epi-wafer進行激光打碼;

16.  獨有的一次操作中根據(jù)不同的cassette選擇不同的recipe進行量測的功能,實現(xiàn)了一次操作即可同時完成不同爐或者不同批次Epi-wafer的測試,非常實用和方便;

17.  量測頁面可即時監(jiān)測激光的輸出功率,可隨時觀察激光源的輸出情況并進行調整;

18.  首創(chuàng)的可以一次load整爐Epi-wafer的數(shù)據(jù),進行整爐Epi-wafermapping圖的對比與分析;可以進行多Runmapping數(shù)據(jù)疊圖,直觀反饋run to run的變化。 

  

EtaMax 客戶名錄

中國·大陸市場

客戶名稱

數(shù)量

型號

客戶名稱

數(shù)量

型號

三安光電

3臺

全自動

德豪潤達

3臺

全自動

合肥藍光

3臺

2臺全自動

1臺手動型

上海藍光

1臺

手動型

山東冠銓

2臺

全自動

晶能光電

2臺

全自動

清華同方(南通廠)

2臺

全自動

中谷光電

1臺

手動型

真明麗

1臺

全自動

長治華尚

1臺

全自動

華磊光電

4臺

3臺全自動

1臺手動

漢晶光電

1臺

全自動

揚州中科

2臺

自動型

蘇州聚燦

1臺

手動型

晶瑞半導體

1臺

自動型

漢萊光電

1臺

手動型

AIXTRON 蘇州中心

1臺

自動型

清華同方2期

2臺

全自動

德豪潤達(揚州廠)

2臺

自動型

晶能光電(常州)

1臺

全自動

晶旺大陸廠

1臺

自動型

海外歐美市場

AIXTRON

德國中心

2臺

全自動

VEECO

3臺

3臺全自動

OPTOGAN

1臺

手動型

中國·臺灣市場

新世紀光電

6臺

全自動

奇力光電

1臺

全自動

泰谷光電

3臺

全自動

鼎承光電

1臺

全自動

聯(lián)勝光電

3臺

2臺全自動

1手動型

晶發(fā)光電

1臺

全自動

晶旺光電

1臺

全自動

光磊

1臺

全自動

廣稼

1臺

全自動

鉅新

1臺

手動型

臺灣國立中興大學

1臺

手動型

光鋐

1臺

自動型

韓國市場

三星(Samsung)

8臺

全自動

SEMCO

1臺

全自動

LG

10臺

全自動

Epivalley

1臺

全自動

LG-IT

7臺

6臺全自動

1臺手動

KETI

1臺

手動型

LG-E

1臺

手動型

KOPTI

1臺

全自動

Seoul semiconductor

7臺

全自動

Prowtech

1臺

手動型

THELEDS

2臺

全自動

Sesan

1臺

手動型

Worri

1臺

全自動

Knowledge-On

1臺

手動型

IIjin

1臺

全自動

Epileds

1臺

手動型

Epiplus

1臺

全自動

Semimerterials

1臺

全自動

Wavesqure

1臺

全自動

IPS

1臺

手動型

  
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